汽蚀时产生的气泡流动到高压处时,其体积减小以致破灭。这种由于压力上升气泡消失在液体中的现象称为汽蚀溃灭。
真空泵在运转中,若其过流部分的局部区域(通常是叶轮叶片 稍后的某处)因为某种原因,抽送液体的 压力降低到当时温度下的液体气化压力时,液体便在该处开始气化,产生大量蒸汽成气泡,当含有大量气泡的液体向前经叶轮内的高压区时,气泡周围的高压液体致使气泡急剧地缩小以致破裂。在气泡凝结破裂的同时,液体质点以很高的速度填充空穴,在此瞬间产生烈的水击作用,并以很高的冲击频率打击金属表面,冲击应力达到几百至几千个大气压,冲击频率达到每秒几万次,严重时会将壁厚击穿。
在真空泵中产生气泡和气泡破裂使过流部件遭受到破坏的过程就是真空泵中的汽蚀过程。真空泵产生汽蚀后除了对过流部件产生破坏作用,还会产生噪声和振动并导致泵的性能下降,严重时会使泵中液体中断,不能正常工作。水环真空泵的汽蚀损坏都是在气泡产生和破裂的部位,金属表面出现点蚀现象,严重的会出现蜂窝状损坏。如果真空泵叶轮在汽蚀部位有较大的残余应力,还会引起应力释放,产生裂纹。